真空油淬爐適用于模具鋼、彈簧鋼、不銹鋼、軸承鋼、高溫合金鋼等的真空熱處理，可兼退火功用。其主要點是適用的材料規模廣、淬透性強、成本低、淬火油可重復使用。不足之處有;變形量相對要大些，工件后續需要清洗。真空油淬爐從結構上可分為雙室爐和三室爐等。