一、設備查看
1.查看真空退火爐各部件是否完好無缺，螺絲是否緊固。
2.查看真空室是否潔凈無雜物，爐襯是否有損壞。
3.查看電源、外表、控制體系是否正常。
  二、操作過程
1.將待處理工件放入爐罐內，關閉爐門并鎖緊。
2.開啟真空體系，對爐內進行抽真空，確保爐內到達所需真空度。
3.當爐內到達所需溫度時，加熱體系主動停止加熱，保溫時刻由工藝確定。
4.保溫時刻結束后，主動開啟氮氣體系，向爐內通入氮氣，使爐內康復常壓。
5.當爐內壓力康復到常壓時，可以翻開爐門取出工件。
  三、注意事項
1.操作前有必要認真查看設備各部件是否正常，如有反常應立即停機查看。
2.在抽真空和充氮氣的過程中，要確保爐罐內的工件不暴露在空氣中，避免重新氧化。
3.在加熱和保溫過程中，要親近重視溫度和壓力的改變，如有反常應立即停機查看。
4.在操作過程中，要堅持現場整齊衛生，及時整理爐渣等雜物。
  四、維護保養
1.定時對真空退火爐進行全面查看，包含真空體系、加熱體系、控制體系等部件。
2.定時整理爐渣等雜物，堅持爐內清潔衛生。
3.定時查看設備的螺絲等緊固件是否松動，如有反常應立即緊固。
4.定時對外表、控制體系等進行校準，確保設備的丈量精度和使用性能。