真空熱處理爐的要害部件包括加熱元件、控溫元件和真空室等。
　　加熱元件：真空熱處理爐的加熱元件有電阻絲、電熱棒、石墨模具等。其間，電阻絲加熱是最常用的方法，加熱效率高、操控精確，但需求專門的維護和保養。
　　控溫元件：真空熱處理爐的控溫元件有測溫外表、操控器等。其間，測溫外表可以實時監測工件溫度，并將數據傳輸到操控器中進行處理。操控器根據工件材質、加熱溫度等因素進行自動化操控，以確保工件加熱溫度的穩定和精確。
　　真空室：真空室是密封的容器，用于發生和保持真空狀況，確保工件在加熱過程中不與空氣接觸，避免氧化反響的發生。同時，真空室可以發生適合的抽氣氣體，降低工件與環境之間的熱輻射，使加熱效果更佳。

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