真空爐石墨件的雜質含量規范會依據詳細的使用需求、產品規格以及行業規范而有所不同。

等離子發射光譜法（ICP）： 原理：使用高純等離子體炮擊樣品，使各元素產生能量躍遷并產生不同的光譜，經過剖析不同光譜的強度來直接標定各元素的含量。 特色：精度高，某些元素可以達到ppb級別，檢出限較低，且能測試除惰性氣體之外的絕大部分元素。

查看石墨件外表是否有裂紋、剝落、燒蝕等現象，以及是否有雜質附著。這些缺點可能影響石墨件的功能和運用壽命。 在日光或日光燈（強度60~80勒克斯）下，目視查看石墨件的圓弧段、端面部是否平整、潤滑，且圓弧段無顯著的切削加工缺點。

拼裝真空爐石墨件的意圖是保證真空爐能夠在高溫、高真空等惡劣環境下安穩、高效地運轉，并滿意特定的工藝要求。

查看石墨件：保證石墨件的規格、類型符合設備要求，一起查看其外觀是否有損壞或缺陷。 預備東西和資料：依據裝置需求，預備好所需的東西和資料，如螺絲、螺母、墊圈、螺栓、扳手、螺絲刀等。

定時查看和保護是保證真空爐石墨件長時間安穩運轉、延伸使用壽命的重要措施。

防止火源觸摸：由于石墨在高溫下會具有一定的可燃性，因而需求保證真空爐周圍環境沒有明火或潛在火源，如易燃液體、氣體等。