真空電爐的原理就是先通過真空系統抽氣，讓爐膛內到達真空狀況。然后再通過加熱元件發熱，溫控系統控制升溫速度和保溫時刻，從而進行物料產品的加熱燒制。

真空爐加熱元件首要分為：電阻絲，硅碳棒，鉬絲鉬桿，硅鉬棒，石墨，感應線圈等。

真空爐的溫控體系首要由熱電偶(測溫)以及溫度操控器(控溫)組成。首要分為 PID 可編程操控，觸摸屏操控，以及 PLC 全自動操控。

真空爐石墨件加熱的結構相對比較簡單，且使用本錢較低。

真空爐膛首要分為：不銹鋼爐膛，陶瓷纖維爐膛，鉬箔爐膛，石墨爐膛

真空爐石墨件加熱的加熱均勻性較為優異，可以實現對樣品的均勻加熱。

真空爐由爐膛、加熱元件，溫控體系、真空體系、水冷體系，密封爐殼等組成。