真空爐加工工件變色一般都是因為真空室內氧分壓大于該種金屬氧化物的平衡分解壓，然后構成金屬氧化物所致。

在真空爐中，一般使用碳在高溫下與氧和水化合生成一氧化碳、二氧化碳和氫氣來下降氣氛中氧的分壓。對于有石墨構件或配有油擴散泵的真空爐，泵的返油不可避免，即使配有很好冷阱的油擴散泵，所返出的油經高溫分解，也能夠提供滿足的碳；對于既沒有石墨構件、也不用油擴散泵的真空爐，為了下降氧分壓，往往需要在真空爐中參加脫氧劑。

真空爐完成無氧化加熱的基本條件：金屬在必定的溫度下加熱，與氣氛中的氧化合，其化學反響式為：MeO2=Me+O2

當分散泵預熱至規定溫度后，機械泵發動，一起翻開粗抽閥對真空室抽低真空，當真空室真空度到達羅茨泵發動條件后羅茨泵發動。

真空爐的真空體系 真空爐的真空體系主要由真空室、泵體系、真空檢測體系、各控制閥及熱交換器組成。

闡述了真空爐工件氧化變色機理及產生原因剖析，提出了真空爐工件變色毛病的排除辦法，還挑選了三次比較典型的修理實例進行了介紹和總結。

真空爐石墨加熱元件是真空爐用電熱元件，所以，關于電壓的選擇要非常重視，當電壓比較高時，爐內會呈現真空放電的情況，這會損壞電熱元件。