真空燒結爐是在抽真空后充氫氣維護狀態下，使用中頻感應加熱的原理，使處于線圈內的鎢坩堝發生高溫，經過熱輻射傳導到工作上，適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結。又分為臥式真空燒結爐和立式真空燒結爐兩種，安裝電爐的場所應符合真空衛生的要求，周圍的空氣應清潔和干燥，并有良好的通風條件，工作場地不易揚起塵埃等。

真空退火爐首要適用于不銹鋼拉深件如水暖器材,不氧化。真空退火爐.具有生產率高。處理后產品表面，光亮不氧化等點，廣泛應用于不銹鋼軸承,、刀具、自攻自鉆,銹鋼鏍絲等域，真空退火爐也可在保護氣氛下運用,污染少真空的效果首要的是為高精密金屬成分的精密零件,避免與雜亂氣體成分在高溫條件下接觸設置的屏障，也能夠用作氣氛退火。

真空回火爐般適用要求回火后零件表面亮光、沒有氧化色，可應用于工模具鋼高溫回火，高溫合金、彈性合金、銅合金時，鈦合金、銅及銅合金的去應力及軟化退火，同時可兼快冷功用。

真空油淬爐適用于模具鋼、彈簧鋼、不銹鋼、軸承鋼、高溫合金鋼等的真空熱處理，可兼退火功用。其主要點是適用的材料規模廣、淬透性強、成本低、淬火油可重復使用。不足之處有;變形量相對要大些，工件后續需要清洗。真空油淬爐從結構上可分為雙室爐和三室爐等。

真空滲碳爐能靈敏地實現多種熱處理工藝，如真空滲碳、真空碳氮共滲、真空滲碳+油淬、真空滲碳+氣淬，以及真空爐部功能。

真空氣淬爐主要應用于高速鋼、工具鋼、模具鋼，合金結構鋼等資料的高壓氣淬。也可用于不銹鋼資料的高溫釬焊、固溶；粉末資料的燒結和時效處理等。同時兼退火固溶時快冷功能。

真空釬焊爐首要用于鋁合金熱交換器等鋁制品真空釬焊,不銹鋼、鈦合金、硬質合金、高溫合金、有色金屬的釬焊及高速鋼、工模具鋼、軸承鋼、不銹鋼等資料的真空回火,以及有色金屬的時效和退火處理以及不銹鋼換熱器、機油冷卻器、不銹鋼保溫杯的真空釬焊